我公司针对OLED器件制备系统克隆圆满完成， 该器件制备设备可制备有机小分子电致发光器件,并且可以对器件进行封装。OLED器件不暴露大气中。设备由有机蒸镀室、金属蒸镀室、磁控溅射镀膜室、预处理室（过渡仓）、手套箱（含除水氧及其水氧监测系统）等组成，其他组合可选。整机一体化设计，各腔室独立真空系统，极限真空度高，各室均可相对独立工作。手动控制及必要保护系统，既操作方便，又减少误操作对系统损坏。旋转基片台及掩膜板精确设计，装、卸基片零活，磁力机械手传递准确、到位。
主要技术指标：
主要功能及参数 膜厚不均匀性<±5%；极限真空8.0×10-5Pa；升压率：0.5Pa/h；手动控制及连锁保护；断水保护分子泵及电源、电源保护；机械手/手动传递等
有机蒸镀腔室 规格：L450mm×W400mm×H450mm，304不锈钢；独立复合分子泵真空系统；自/手动控制；膜厚监测及控制；有机蒸发电极4-6对（含防污挡板）及电源
金属蒸镀腔室(或与有机蒸镀腔室复合一腔) 规格：L450mm×W400mm×H450mm，304不锈钢；独立复合分子泵真空系统；自/手动控制；膜厚监测及控制；金属蒸发水冷电极4对（含防污挡板）及电源
预处理室 Φ300mm×H450mm；可加热或等离子清洗及样片传递
磁控溅射镀膜室 规格：L450mm×W400mm×H450mm，304不锈钢；独立复合分子泵真空系统；基片台加热室温至300℃可控可调；自/手动控制；2只永磁靶及溅射电源；膜厚监测及控制
手套箱 标准 单/双 工位 （含水分析仪、氧分析仪）
我公司是专业为客户提供抄板、BOM清单制作、样机制作、批量生产一体化服务的公司，如有需求欢迎来电咨询。
